A „nedves tisztítás” során ún. tisztítófolyadék használatával távolítjuk el a szennyeződéseket a tisztatérben. Bizonyos esetekben a törlés, törölgetés mozgatja ugyan a részecskéket, de nem tudja eltávolítani őket. Ezért nedves tisztítást akkor alkalmazzuk, amikor a törlés nem elegendő a részecskék tapadásának leküzdéséhez. Ez a tisztítási folyamat számos kemikáliával kivitelezhető, az határozza meg, hogy milyen vegyszert érdemes használni, hogy milyen felületet szeretnénk tisztítani, valamint az, hogy fertőtlenítés vagy sterilizálás-e a célunk a tisztatér tisztítása során.
„Száraz tisztítás” esetén az egyes felületek polírozása és/vagy törlése kollektív vagy nedvszívó anyag felhasználásával történik, ennek a tisztítási folyamatnak a lényege a fertőtlenítés. A száraz tisztítás során tartós anyagból készült törlőkendőket alkalmazunk, melyek nem rakják le újra a részecskéket és nem hullanak szálakra sem. A tisztatér ISO osztálya határozza meg, hogy kötött poliészter vagy jobb nedvszívó pamut törlőkendő szükséges-e a tisztatér fertőtlenítéséhez.